mems传感器

【研究背景】 在微电子机械系统（MEMS）领域，随着科技进步和应用需求的增加，对于传统MEMS材料（如硅或氮化硅）的力敏感性（FS）和信噪比的限制引起了研究人员的关注。这些材料在应用中通常用于制造悬臂，特别是在原子力显微镜（AFM）中...